Heidelberg 光刻機(jī)μMLA桌面無掩模光刻機(jī)

Heidelberg 光刻機(jī)μMLA桌面無掩模光刻機(jī)

μMLA桌面無掩模光刻機(jī)！

 桌面型光刻機(jī)μMLA   技術(shù)參數(shù)

 系統(tǒng)尺寸(光刻單元)

μMLA提供了桌面激光光刻工具:  配置設(shè)置精確到您的需要與光柵掃描和矢量掃描模式(或兩者)和可變分辨率的記錄磁頭。

在許多應(yīng)用中，傳統(tǒng)的光掩膜已經(jīng)成為過去，因?yàn)槟愕脑O(shè)計(jì)文件是通過二維空間光直接暴露在電阻涂層晶圓上的調(diào)制器(SLM)。μMLA是MLA100的直接繼承者，是“小”MLA150，是我們無掩模對準(zhǔn)器的兄弟，它是許多多用戶設(shè)備、納米制造實(shí)驗(yàn)室和國家研究所中。

在我們?nèi)碌娜腴T級(jí)系統(tǒng)μMLA的開發(fā)過程中，我們引入了諸如可變解決方案等新特性，并創(chuàng)建了一個(gè)靈活且可定制的桌面系統(tǒng)。當(dāng)然，小樣本處理很簡單。

應(yīng)用包括研究和發(fā)展的領(lǐng)域，如MEMS，微流體，微光學(xué)和所有其他領(lǐng)域，負(fù)擔(dān)得起，緊湊，和rator微結(jié)構(gòu)是必需的。

APPLICATIONS 應(yīng)用程序

微光學(xué):二元衍射光學(xué)元件。設(shè)計(jì)由1個(gè)μm2正方形組成。

μMLA提供了一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的灰度模式，這可以制造低創(chuàng)造的微鏡頭。防蝕膠：15 μm厚AZ4562。節(jié)距30 μm，曲率半徑16 μm。

CUSTOMIZE YOUR μMLA 定制您的μMLA

兩種曝光模式

μMLA可以讓你選擇光柵掃描曝光模式和矢量模式，或者甚至在同一個(gè)系統(tǒng)上運(yùn)行曝光模式! 光柵掃描曝光模式快速，并提供圖像質(zhì)量和保真度，而寫入時(shí)間獨(dú)立于結(jié)構(gòu)尺寸或圖案密度。矢量掃描模式可以幫助暴露由曲線組成的設(shè)計(jì)，當(dāng)需要平滑的輪廓。雖然矢量模式產(chǎn)生的圖像質(zhì)量與光柵掃描曝光模式相似，但它不能達(dá)到同樣的寫入速度，特別是對于高填充系數(shù)的模式。

A Choice of Wavelengths 波長的選擇

因此，你可以在一個(gè)系統(tǒng)上使用多達(dá)三個(gè)不同波長(LED和/或激光二極管)。

 Variable Resolution 可變分辨率

我們新開發(fā)的可變分辨率函數(shù)允許您為一個(gè)部分的編寫模式選擇三種不同的分辨率。只需在軟件菜單中選擇解決方案，并為您的應(yīng)用程序優(yōu)化參數(shù)。

 The Surface at One Glance

可選的概述相機(jī)提供了一種簡單的方法來定位對準(zhǔn)標(biāo)記或其他特征感興趣的基板上。

Small Sample Handling 小樣本處理

小樣品處理是直接與μMLA:    光學(xué)自動(dòng)對焦選項(xiàng)允許準(zhǔn)確曝光，直到樣品的邊緣。

5 mm x 5 mm